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    潔淨室淋水式處理

    2026-01-29

    潔淨室淋水式處理
    淋水式是一種傳統的經典方法，利用水洗方法將可溶於水的廢氣及粉塵水洗清除。部件有噴嘴、水泵、加堿設備及pH值分析器、進出口壓力敏感元件、流量敏感元件、控製監視裝置等。圖9-46是某半導體工業常用的區域性洗滌塔。表9-19是區域性洗滌塔的優缺點比較。

     

     最大不平整度:1/300板麵長度。
    表麵電阻值:10-5~10-70。
    1矽片傳輸。受投資所限，采用手動係統，在微環境下手工傳送、打開片盒和裝取矽片。
    5微環境裝置形式。在吊頂安裝型或地板固定型或兩者混合型中選用，見圖9-44和圖9-45。

     

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